Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)
- 2013.05a
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- Pages.177-177
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- 2013
Characteristics of Ag, Cu films deposited by magnetron sputtering after the annealing temperature
마그네트론 스퍼터링을 이용한 초박막 Ag, Cu 금속 박막의 열처리에 따른 물질 특성 변화
- Choe, Min-Seung ;
- Gang, Se-Won ;
-
Kim, Dong-Ho
(KIMS) ;
-
Lee, Geon-Hwan
(KIMS) ;
-
Song, Pung-Geun
- 최민승 (부산대학교 재료공학과) ;
- 강세원 (부산대학교 재료공학과) ;
-
김동호
(한국기계연구원 부설 재료연구소) ;
-
이건환
(한국기계연구원 부설 재료연구소) ;
-
송풍근
(부산대학교 재료공학과)
- Published : 2013.05.30
Abstract
DC 마그네트론 스퍼터링을 이용하여 열처리 온도 변화에 따른 금속 박막의 물성 변화 및 특성 분석을 위해 유리기판 위에 박막의 두께 10 nm로 증착하여 열처리 공정을 진행하였다. 상온에서 Ag 박막의 비저항은 평균
Keywords