한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)

한국표면공학회 (The Korean Institute of Surface Engineering)
권호 표지

디스플레이 공정용 ICP 장비에서 안테나 구조 변화에 따른 플라즈마 변수 비교

Effects of antenna configurations in an inductively coupled plasma for display device process

  • 이영준 (한국항공대학교 항공전자공학과) ;
  • 오선근 (한국항공대학교 항공전자공학과) ;
  • 최희환 (한국항공대학교 항공전자 및 정보통신공학부)
  • 발행 : 2013.05.30
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초록

디스플레이용 ICP 장비에서 Ar 플라즈마를 사용하여 플라즈마 시뮬레이션을 진행하였다. 안테나 코일의 회전수에 따른 플라즈마 변수들을 비교하였다. 1-turn과 4-turn의 플라즈마 밀도, 온도, 전위차의 공간분포들을 비교한 결과 4-turn이 균일도 측면에서 유리함을 확인 할 수 있었다.

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