한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)
- 한국표면공학회 2013년도 춘계학술대회 논문집
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- Pages.160-160
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- 2013
비 독성 셀레늄 팰릿을 이용하여 급속 열처리한 CIGS 흡수층 형성
Fabrication of Cu(Inx,Ga1-x)Se2 absorber layers using non-toxic rapid thermal selenziation
- 발행 : 2013.05.30
초록
본 실험에서는 CIGS 흡수층을 스퍼터링 방식과 급속열처리 장비를 이용한 2-step 방식을 이용하여 형성시켰다. 전구체는 DC 스퍼터링 방법으로
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