한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)
- 한국표면공학회 2013년도 춘계학술대회 논문집
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- Pages.124-124
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- 2013
기판 종류에 따른 나노결정질 다이아몬드 박막의 성장 거동 비교
Comparison of the Growth Behavior Nanocrystalline Diamond Film on Different Substrates
- 발행 : 2013.05.30
초록
마이크로웨이브 플라즈마 화학기상증착(MPCVD) 시스템을 이용하여 서로 다른 기판(Si,SiC,W,Ti) 위에 나노결정질 다이몬드 박막을 증착하였다. 공정압력, 마이크로웨이브 전력,
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