Effect of Chemical Composition and Temperature on Characteristic of Zn-Mg thin films

Zn-Mg 박막의 특성에 대한 조성 및 합성 온도의 영향 평가

  • 라정현 (한국항공대학교 항공재료공학과, 표면기술응용연구센터) ;
  • 김규성 (한국항공대학교 항공재료공학과, 표면기술응용연구센터) ;
  • 김동준 (한국항공대학교 항공재료공학과, 표면기술응용연구센터) ;
  • 김성민 (한국항공대학교 항공재료공학과, 표면기술응용연구센터) ;
  • 이상율 (한국항공대학교 항공재료공학과, 표면기술응용연구센터)
  • Published : 2013.05.30

Abstract

우수한 내식성을 나타내는 Zn-Mg 합금을 강판의 표면처리에 적용하기 위하여 비대칭 마그네트론 스퍼터링을 이용하여 Zn-Mg 박막을 합성하였다. Zn-Mg 박막의 미세조직은 박막 내에 Mg 함량이 증가 할수록 치밀해지며, 합성 중의 온도가 높아지면 박막은 치밀도가 낮아진다. 이렇게 변화하는 Zn-Mg 박막의 미세조직은 박막의 밀착성 및 내식성에 큰 영향을 미치며 미세조직이 치밀할수록 Zn-Mg 박막의 내식성은 증가하나 밀착성은 감소하는 경향성을 나타냈다.

Keywords