AFM 마이크로 캔틸레버의 상태 공간 방정식 및 유한 요소 진동 해석 비교

Comparison of vibration analyses on microcantilevers for Atomic Force Microscopy by state-space equations and the finite element method

  • 이진우 (아주대학교 기계공학부) ;
  • 김일광 (서울 시립대학교 기계정보공학과) ;
  • 한동희 (서울 시립대학교 기계정보공학과) ;
  • 이수일 (서울 시립대학교 기계정보공학과)
  • 발행 : 2013.04.24

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