Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2013.05a
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Pages.1523-1524
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2013
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Design of Near-Infrared Inspection Illumination System and It's Optimum Conditions Selection for Silicon Wafers

실리콘 웨이퍼를 위한 근적외선 검사 조명계 설계 및 최적조건 선정

Seo, H.J. ;
Kim, G.B.

서형준 (한국교통대학교 대학원) ;
김경범 (한국교통대학교 항공기계설계학과)

Published : 2013.05.29

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Abstract

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