Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2013.05a
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Pages.1305-1306
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2013
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Analysis of Far Field type Megasonic using FEM

Far Field type 메가소닉 해석

이양래 (한국기계연구원 극한기계부품연구본부) ;
김현세 (한국기계연구원 극한기계부품연구본부) ;
임의수 (한국기계연구원 극한기계부품연구본부)

Published : 2013.05.29

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Abstract

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