Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2013.05a
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Pages.1273-1274
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2013
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Improvement of Pattern Uniformity by Controlling Thermal Expansion of Mirror System

열팽창을 고려한 노광기 구조물 개선 및 패턴 균일도 향상 방법

김종주 (삼성 공과대학교) ;
김성봉 (삼성 디스플레이) ;
함근식 (삼성 디스플레이) ;
조현민 (삼성 디스플레이) ;
김장겸 (삼성 디스플레이)

Published : 2013.05.29

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Abstract

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