한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 2013년도 춘계학술대회 논문집
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Pages.1265-1266
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2013
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2005-8446(pISSN)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)

권호 표지

Wafer Test 시 Probe Card Holder 의 변형에 의한 Contact 정밀도 향상 방안 연구

A Study on Precision Improvement of Contact Ability according to Deformation of Probe Card Holder during Wafer Test

배지원 (삼성전자 반도체) ;
신한모 (삼성전자 반도체) ;
주민성 (삼성전자 반도체) ;
천완재 (삼성전자 반도체) ;
국정우 (삼성전자 반도체) ;
이기두 (삼성전자 반도체) ;
김광수 (삼성전자 반도체)

발행 : 2013.05.29

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