Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2013.05a
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Pages.1265-1266
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2013
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

A Study on Precision Improvement of Contact Ability according to Deformation of Probe Card Holder during Wafer Test

Wafer Test 시 Probe Card Holder 의 변형에 의한 Contact 정밀도 향상 방안 연구

배지원 (삼성전자 반도체) ;
신한모 (삼성전자 반도체) ;
주민성 (삼성전자 반도체) ;
천완재 (삼성전자 반도체) ;
국정우 (삼성전자 반도체) ;
이기두 (삼성전자 반도체) ;
김광수 (삼성전자 반도체)

Published : 2013.05.29

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Abstract

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