Obsevation of the machined surface roughness through SEM, an electrostatic lens type

전기장렌즈형 SEM을 활용한 가공표면조도 관찰

  • 김기환 (서울과학기술대학교 NID융합기술대학원) ;
  • 장동영 (글로벌융합산업공학과) ;
  • 박만진 (한국전자기계융합기술원)
  • Published : 2013.05.29