한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)
권호 표지

진공용 5축 스테이지의 누설자기장과 전자빔 피니싱 영향 해석

Analysis of effect for electron beam finishing and leakage magnetic field about a 5-axis stage in vacuum

  • 정종규 (국민대학교 기계설계학과) ;
  • 강은구 (한국생산기술연구원) ;
  • 정재일 (국민대학교 기계시스템공학부)
  • 발행 : 2013.05.29
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