한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)
권호 표지

반도체용 이중서보 스테이지를 위한 미세스테이지 설계

Design of fine stage for semi-conductor dual servo stage

  • 정재헌 (한국과학기술원 기계공학과) ;
  • 권대갑 (한국과학기술원 기계공학과) ;
  • 우시웅 (한국과학기술원 기계공학과) ;
  • 김명현 (한국과학기술원 기계공학과)
  • 발행 : 2013.05.29
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