한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)
권호 표지

반도체 Fab에서 Automated Material Handling System을 통한 생산성 개선 연구

Productivity Improvement Study through Automated Material Handling System in Semiconductor Fab

  • 원정민 (삼성전자 메모리 Test 기술그룹) ;
  • 박세호 (삼성전자 메모리 Test 기술그룹) ;
  • 김광수 (삼성전자 메모리 Test 기술그룹)
  • 발행 : 2013.05.29
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