한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 2013년도 춘계학술대회 논문집
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Pages.647-648
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2013
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2005-8446(pISSN)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)

권호 표지

Nano 급 반도체 TEM 시료 제작 시, 미세 Pattern 변형에 대한 연구

A Study on the Reduction of Pattern Deformation by Optimized FIB during the TEM Sample Preparation

한창우 (삼성전자공과대학교 반도체공학과) ;
김종규 (삼성전자공과대학교 반도체공학과) ;
이경우 (삼성전자) ;
변광선 (삼성전자)

발행 : 2013.05.29

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