한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)
권호 표지

EWMA 관리도 최적화를 통한 반도체 제조 공정의 설비 미세변동 감지력 향상에 관련 연구

A case study regarding improving fine variation detecting rate of the machine through optimizing EWMA control charts in semiconductor manufacturing process

  • 김민철 (삼성전자 공과대학 반도체 공학과) ;
  • 변권현 (삼성전자 DS 부문 메모리 사업부) ;
  • 김종규 (삼성전자 DS 부문 메모리 사업부)
  • 발행 : 2013.05.29
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