Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2013.05a
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Pages.633-634
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2013
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Fabrication of Soft Phase shift Mask Lithography for Nano/Micro Hybrid mold

나노/마이크로 복합 금형 제작을 위한 소프트 마스크 위상 이동 리소그래피 공정 기술 연구

김지원 (부산대학교 나노융합공학과) ;
조상욱 (부산대학교 인지메카트로닉스공학과) ;
이태호 (부산대학교 광메카트로닉스연구소) ;
김창석 (부산대학교 인지메카트로닉스공학과) ;
정명영 (부산대학교 인지메카트로닉스공학과)

Published : 2013.05.29

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