한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)
- 한국정밀공학회 2013년도 춘계학술대회 논문집
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- Pages.625-626
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- 2013
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- 2005-8446(pISSN)
$Si_3N_4$ 멤브레인을 이용한 멤스 마이크로폰의 지향 특성
Directionality Characteristics of MEMS micorphone Using $Si_3N_4$ membrane
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곽준혁
(한국기계연구원 나노융합기계연구본부 나노자연모사 연구실)
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- 이영화 (한국기계연구원 나노융합기계연구본부 나노자연모사 연구실) ;
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정영도
(한국기계연구원 나노융합기계연구본부 나노자연모사 연구실)
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- 강한미 (한국기계연구원 나노융합기계연구본부 나노자연모사 연구실) ;
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허신
(한국기계연구원 나노융합기계연구본부 나노자연모사 연구실)
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Kwak, J.H.
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- Lee, Y.H. ;
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Jung, Y.D.
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- Kang, H.M. ;
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Hur, S.
- 발행 : 2013.05.29