Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)
- 2013.05a
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- Pages.625-626
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- 2013
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- 2005-8446(pISSN)
Directionality Characteristics of MEMS micorphone Using $Si_3N_4$ membrane
$Si_3N_4$ 멤브레인을 이용한 멤스 마이크로폰의 지향 특성
- Kwak, J.H. ;
- Lee, Y.H. ;
- Jung, Y.D. ;
- Kang, H.M. ;
- Hur, S.
- 곽준혁 (한국기계연구원 나노융합기계연구본부 나노자연모사 연구실) ;
- 이영화 (한국기계연구원 나노융합기계연구본부 나노자연모사 연구실) ;
- 정영도 (한국기계연구원 나노융합기계연구본부 나노자연모사 연구실) ;
- 강한미 (한국기계연구원 나노융합기계연구본부 나노자연모사 연구실) ;
- 허신 (한국기계연구원 나노융합기계연구본부 나노자연모사 연구실)
- Published : 2013.05.29