열가압을 이용한 금속 나노 구조체 패터닝 기술

New patterning method of metal nano-structure method with hot press

  • 엄현진 (한국과학기술원 기계공학과) ;
  • 박인규 (한국과학기술원 기계공학과) ;
  • 정준호 (한국기계연구원 나노공정연구실) ;
  • 김철현 (한국기계연구원 나노공정연구실) ;
  • 성상근 (한국기계연구원 나노공정연구실) ;
  • 최준혁 (한국기계연구원 나노공정연구실)
  • 발행 : 2013.05.29