Spin-On-Glass resist를 이용한 NIL 용 Master Replication

Master Replication for the NIL process using Spin-On-Glass resist

  • 박수연 (과학기술연합대학원대학교 나노메카트로닉스) ;
  • 박현하 (한국기계연구원 나노공정연구실) ;
  • 정미라 (한국기계연구원 나노공정연구실) ;
  • 이재종 (과학기술연합대학원대학교 나노메카트로닉스)
  • 발행 : 2013.05.29