한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 2013년도 춘계학술대회 논문집
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Pages.603-604
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2013
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2005-8446(pISSN)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)

권호 표지

롤패턴의 위치 결정을 위한 이중 격자 정렬법

Dual Grating Aligning Method for Roll Positioning

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김기홍 (한국기계연구원 나노공정연구실) ;
임형준 (한국기계연구원 나노공정연구실) ;
최기봉 (한국기계연구원 나노공정연구실) ;
이재종 (한국기계연구원 나노공정연구실)

발행 : 2013.05.29

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초록

키워드

Dual Grating;
Alignment;