Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2013.05a
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Pages.603-604
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2013
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Dual Grating Aligning Method for Roll Positioning

롤패턴의 위치 결정을 위한 이중 격자 정렬법

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김기홍 (한국기계연구원 나노공정연구실) ;
임형준 (한국기계연구원 나노공정연구실) ;
최기봉 (한국기계연구원 나노공정연구실) ;
이재종 (한국기계연구원 나노공정연구실)

Published : 2013.05.29

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