Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

  • 2013.05a
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  • Pages.595-596
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  • 2013
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  • 2005-8446(pISSN)
Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)
권호 표지

Study on the Beam Extraction Characteristics of the ICP Ion Source for Focused Ion Beam Devices with Higher Yield

고수율 집속 이온빔 장치를 위한 ICP 이온원의 빔 인출 특성에 관한 연구

  • 김동욱 ((재)한국전자기계융합기술원) ;
  • 장동영 (서울과학기술대학교 글로벌융합산업공학과) ;
  • 박만진 ((재)한국전자기계융합기술원) ;
  • 김기환 ((재)한국전자기계융합기술원)
  • Published : 2013.05.29
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Abstract

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