한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)
권호 표지

XY-스테이지 운전에 의한 방진시스템 응답 특성에 대한 연구

Study on Response Characteristics of Isolation System by XY-Stage

  • 신윤호 (한국기계연구원 기계시스템안전연구본부) ;
  • 문석준 (한국기계연구원 기계시스템안전연구본부) ;
  • 정정훈 (한국기계연구원 기계시스템안전연구본부) ;
  • 송창규 (한국기계연구원 첨단생산장비연구본부)
  • 발행 : 2013.05.29
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