한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)
권호 표지

레이저 응용 미세패턴 가공을 위한 광학계 설계

Optical System Design for Micro-Pattern Laser Application

  • 이성헌 (한국기계연구원 초정밀시스템연구실) ;
  • 김병섭 (한국기계연구원 초정밀시스템연구실) ;
  • 송준엽 (한국기계연구원 초정밀시스템연구실) ;
  • 황주호 (한국기계연구원 초정밀시스템연구실)
  • 발행 : 2013.05.29
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