Optical System Design for Micro-Pattern Laser Application

레이저 응용 미세패턴 가공을 위한 광학계 설계

  • 이성헌 (한국기계연구원 초정밀시스템연구실) ;
  • 김병섭 (한국기계연구원 초정밀시스템연구실) ;
  • 송준엽 (한국기계연구원 초정밀시스템연구실) ;
  • 황주호 (한국기계연구원 초정밀시스템연구실)
  • Published : 2013.05.29