한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)
- 한국정밀공학회 2013년도 춘계학술대회 논문집
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- Pages.389-390
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- 2013
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- 2005-8446(pISSN)
차동력 구동에 의한 2 축 압전 스테이지의 설계 및 해석
Design and Analysis of a Two-axis Piezo Stage Driven by Differential Forces
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최기봉
(한국기계연구원 나노공정연구실)
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이재종
(한국기계연구원 나노공정연구실)
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임형준
(한국기계연구원 나노공정연구실)
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김기홍
(한국기계연구원 나노공정연구실)
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- 알렉세이 (한국기계연구원 나노공정연구실) ;
- 신은주 (한국기계연구원 나노공정연구실)
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Choi, K.B.
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Lee, Jae-Jong
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Lim, H.J.
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Kim, G.H.
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- Ten, A.D. ;
- Shin, E.J.
- 발행 : 2013.05.29