Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2013.05a
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Pages.153-154
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2013
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Development of MEMS based smart 4-point probe

MEMS 기반의 스마트 4단자 탐침 개발

Kim, J.K. ;
Lee, D.W.

김지관 (전남대학교 기계공학과) ;
이동원 (전남대학교 기계공학과)

Published : 2013.05.29

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Abstract

Keywords

MEMS;
4-point probe