모션프로파일을 통한 웨이퍼트랜스퍼 로봇의 진동성능개선

Improvement of Vibration Performance for Wafer Transfer Robot Using Motion Profile

  • 윤장규 (금오공과대학교 기계공학과 대학원) ;
  • 신동원 (금오공과대학교 기계시스템공학과)
  • 발행 : 2013.05.29