Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

  • 2013.05a
  • /
  • Pages.79-80
  • /
  • 2013
  • /
  • 2005-8446(pISSN)
Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)
권호 표지

Improvement of Vibration Performance for Wafer Transfer Robot Using Motion Profile

모션프로파일을 통한 웨이퍼트랜스퍼 로봇의 진동성능개선

  • 윤장규 (금오공과대학교 기계공학과 대학원) ;
  • 신동원 (금오공과대학교 기계시스템공학과)
  • Published : 2013.05.29
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords