사파이어 웨이퍼의 ELID 연삭 가공에서 초음파 테이블이 드레싱 저항에 미치는 영향

Effects of Ultrasonic Table on Dressing Resistance in the ELID Grinding of Sapphire Wafer

  • 곽태수 (경남과학기술대학교 기계공학과) ;
  • 신건휘 (경남과학기술대학교 기계공학과) ;
  • 정명원 (경남과학기술대학교 기계공학과)
  • 발행 : 2013.05.29