한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2013년도 제44회 동계 정기학술대회 초록집
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- Pages.679-679
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- 2013
RIE/WET Texturing구조 태양전지의 모듈 공정 전/후 특성평가
- Seo, Il-Won (Department of Electrophysics, Kwangwoon University) ;
- Yun, Myeong-Su (Department of Electrophysics, Kwangwoon University) ;
- Jo, Tae-Hun (Department of Electrophysics, Kwangwoon University) ;
- Kim, Dong-Hae (Department of Electrophysics, Kwangwoon University) ;
- Jo, Lee-Hyeon (Department of Electrophysics, Kwangwoon University) ;
- Son, Chan-Hui (Jusung Engineering Co., Ltd.) ;
- An, Jeong-Ho (Jusung Engineering Co., Ltd.) ;
- Lee, Jeong-Gyun (Jusung Engineering Co., Ltd.) ;
- Gwon, Gi-Cheong (Department of Electrophysics, Kwangwoon University)
- 발행 : 2013.02.18
초록
태양전지는 계속되는 유가상승과 무소음 무공해의 녹색에너지원이라는 점에서 각광받고 있다. 더욱이 발전단가가 높기 때문에 특히 저가의 다결정 실리콘 태양전지의 연구가 활발히 진행되고 있다. 태양전지의 texturing 공정은 광 포획 효과를 극대화 시킨다. 이에 따라 웨이퍼 표면에 텍스쳐를 형성하여, 광학적 손실을 줄이는데, 일반적으로 alkaline etching (WET) 공정과 reactive ion etching (RIE) 공정이 사용된다. 본 연구에서는 RIE, WET 공정을 사용하여 만든 texturing 구조의 태양전지를 모듈 공정 진행 전 특성평가를 한 후 다시 모듈 공정 후 특성평가를 진행하였다. 특성평가는 태양전지의 전류-전압 곡선을 통해 개방전압, 단락전류, 곡선인자 을 측정하고, 파장에 따른 양자효율 및 반사율을 측정하였다. 또한 태양전지의 전기에너지를 가하여 생성되는 전계발광 현상과 NIR camera를 이용하여 Grain의 Dark Area 및 Micro crack을 검출하였다. 이와 같은 모듈 공정 전/후 특성을 측정하고, 이를 비교 분석하여 BIPV 적용 시 태양전지의 동작특성을 확인하였다.