Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2013.02a
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- Pages.252-252
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- 2013
$MoS_2$ 박막 증착을 위한 Mo 전구체 특성 평가
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Mun, Ji-Hun
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Park, Myeong-Su
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Yun, Ju-Yeong
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Gang, Sang-U
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Sin, Jae-Su
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Lee, Chang-Hui
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Kim, Tae-Seong
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문지훈
(성균관대학교 성균나노과학기술원) ;
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박명수
(한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
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윤주영
(한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
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강상우
(한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
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신재수
(대전대학교 신소재공학부) ;
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이창희
(혜전대학교) ;
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김태성
(성균관대학교 성균나노과학기술원)
- Published : 2013.02.18
Abstract
최근 그래핀, hexagonal boron nitride (h-BN) 및