Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2013.08a
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- Pages.306-306
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- 2013
다중 박막을 이용한 태양전지 제작 및 특성 평가
- 유정재 (청주대학교 전자공학과) ;
- 민관홍 (청주대학교 전자공학과) ;
- 연제민 (청주대학교 전자공학과) ;
- 찬타솜바스 시사바이 (청주대학교 전자공학과) ;
- 김광호 (청주대학교 태양광에너지공학과)
- Published : 2013.08.21
Abstract
p-type Si(100)기판위에 Al2O3 박막을 증착하고 Si/SiO2 박막을 연속 증착하여 태양전지를 제작하였다. Si/SiO2 박막을 연속으로 증착하면 양자 구속이 일어나고 이로 인한 유효밴드 갭이 증가하게 되고, tunnel effect와 계면에서의 passivation 효과를 기대할 수 있다. 이런 효과들을 이용하여 고효율 태양전지를 기대 할 수 있다. 본 연구에서는 Remote Plasma Atomic Layer Deposition(RPALD)를 이용하여 Al2O3를 증착하였고 RF-Magnetron Sputter와 e-beam Evaporator 장비를 이용하여 Si/SiO2을 증착하였다. 전극으로는 Ti/Ag와 Al을 이용하였다. Solar simulator 장비를 이용하여 cell의 전기적 특성 평가를 평가하였고(Fig. 1) QE 측정장비를 통해 파장대의 따른 광학적 측정을 하였다(Fig. 2). ellipsometer 장비와