한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2013년도 제45회 하계 정기학술대회 초록집
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- Pages.200.2-200.2
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- 2013
수열합성법에 의한 Y-ZnO 나노구조물의 제작과 특성
- Heo, Seong-Eun (Department of Semiconductor Science, Dongguk University-Seoul) ;
- Lee, Byeong-Ho (Department of Semiconductor Science, Dongguk University-Seoul) ;
- Lee, Hwang-Ho (Department of Semiconductor Science, Dongguk University-Seoul) ;
- Kim, Chang-Min (Department of Semiconductor Science, Dongguk University-Seoul) ;
- Kim, Won-Jun (Department of Semiconductor Science, Dongguk University-Seoul) ;
- Sharma, S.K. (Department of Semiconductor Science, Dongguk University-Seoul) ;
- Lee, Se-Jun (Quantum-functional Semiconductor Research Center, Dongguk University-Seoul) ;
- Kim, Deuk-Yeong (Department of Semiconductor Science, Dongguk University-Seoul)
- 발행 : 2013.08.21
초록
Yttrium (Y)이 도핑 된 ZnO 나노 구조물을 수열합성법으로 제작하였다. 먼저 졸겔법으로 SiO2/Si 기판 위에 seed layer (Y-doped ZnO ; Y0.02Zn0.98O)를 제작하였으며 5번의 코팅을 진행하여 박막의 두께는 약 180 nm로 측정이 되었다. 그 후 진공 분위기에서 RTA를 이용하여