한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)
- 한국표면공학회 2012년도 추계총회 및 학술대회 논문집
- /
- Pages.178-178
- /
- 2012
마그네트론 스퍼터링을 이용하여 증착한 CIGS 박막의 열처리 공정에 따른 미세구조 및 특성 평가
- 발행 : 2012.11.08
초록
CIGS 단일 타켓을 RF 마그네트론 스퍼터링을 이용하여 파워별(20. 40, 60, 80W)로 Mo/SLG 위에 증착하여 열처리를 실시하였다. 파워 증가에 따라서 박막의 결정성은 이온의 운동에너지 증가에 따라서 결정성이 향상될 것을 예상할 수 있다. 그리고 1step
키워드