한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)

한국표면공학회 (The Korean Institute of Surface Engineering)
권호 표지

상온 전해 도금을 통한 실리콘계 박막 제조

Electrochemical Preparation of Si-Based Thin Films at Room Temperature

  • 김은지 (부산대학교 재료공학부) ;
  • 신헌철 (부산대학교 재료공학부)
  • 발행 : 2012.11.08
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초록

유기 용매를 사용하여 상온에서 실리콘계 전해 도금층을 형성하였다. 도금층의 몰폴로지는 전류밀도 및 도금 시간에 크게 영향을 받았으며, 다공성 구조에서 치밀한 구조까지 다양하게 나타났다. 조성 및 구조가 잘 정의된 실리콘계 전해 도금 층을 리튬이차전지용 애노드 활물질로써 평가해 본 결과 도금층 내 실리콘은 리튬과 가역적으로 반응하였다.

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