증착 공정에 따른 알루미늄 박막의 제조와 특성

  • 정재인 (포항산업과학연구원 융합소재연구본부) ;
  • 양지훈 (포항산업과학연구원 융합소재연구본부) ;
  • 박혜선 (포항산업과학연구원 융합소재연구본부) ;
  • 정재훈 (포항산업과학연구원 융합소재연구본부) ;
  • 송민아 (포항산업과학연구원 융합소재연구본부)
  • 발행 : 2012.11.08