Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)
- 2012.05a
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- Pages.336-337
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- 2012
대기압 플라즈마를 이용한 frequency 변화에 따른 SiOx 박막 특성 변화
- Kim, Ga-Yeong ;
- Park, Jae-Beom (SAINT) ;
- Yeom, Geun-Yeong
- Published : 2012.05.31
Abstract
본 연구에서는 HMDS (400sccm)/
Keywords