Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)
- 2012.05a
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- Pages.262-262
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- 2012
Diamon-like Carbon Coatings Prepared by Linear Ion Source with 20 kHz Discharge
선형 이온빔 소스의 20 kHz 방전을 이용한 DLC 박막 증착 연구
- Published : 2012.05.31
Abstract
Diamond like carbon(DLC) 박막은 고경도, 초저마찰 특성을 요구하는 마찰분야에 널리 사용되며, 대면적 저가 코팅 방법 개발 및 물성 조절 기술이 요구된다. 본 연구에서는 선형 이온 소스를 통한 DLC 박막의 대면적 코팅 방법은 연구했으며, 방전 주파수 조절에 따른 박막 물성 조절 특성을 분석하였다.
Keywords