한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)

한국표면공학회 (The Korean Institute of Surface Engineering)
권호 표지

The Effect of Laser on Silicon thin film measurement in Raman spectroscopy

  • 발행 : 2012.05.31
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초록

Raman spectroscopy는 미세결정질 실리콘 박막의 분석에 널리 사용되고 있으며 특히, 측정 자료를 통해 미세결정질 분율을 알아낼 수 있다. Raman 측정 시 조사되는 laser의 특성에 따라 박막시편 측정값에 일련의 변화가 나타나는 것을 알 수 있었다.

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