한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)

한국표면공학회 (The Korean Institute of Surface Engineering)
권호 표지

PECVD 법에 의해 제작한 초발수 박막과 나노 클러스터링 현상

Ultra water repellent thin films by PECVD method and nano-clustering phenomena

  • 윤용섭 (한국해양대학교 기관시스템공학부) ;
  • 이명훈 (한국해양대학교 기관공학부) ;
  • 발행 : 2012.05.31
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초록

본 연구는 PECVD법에 의한 초발수 박막의 생성과정에서 생기는 나노 클러스터링 현상에 관하여 레이저 산란법에 의해 살펴보았다. 이와같이 레이저 산란법에 의해 플라즈마에서 나노 클러스터의 존재를 증명함으로써, 초발수 박막의 생성이 더스티 플라즈마 중 유기분자들이 분해 및 재결합 과정을 통하여 이루어졌음이 밝혀졌다.

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