Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

Ultra water repellent thin films by PECVD method and nano-clustering phenomena

PECVD 법에 의해 제작한 초발수 박막과 나노 클러스터링 현상

  • 윤용섭 (한국해양대학교 기관시스템공학부) ;
  • 이명훈 (한국해양대학교 기관공학부) ;
  • Published : 2012.05.31
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Abstract

본 연구는 PECVD법에 의한 초발수 박막의 생성과정에서 생기는 나노 클러스터링 현상에 관하여 레이저 산란법에 의해 살펴보았다. 이와같이 레이저 산란법에 의해 플라즈마에서 나노 클러스터의 존재를 증명함으로써, 초발수 박막의 생성이 더스티 플라즈마 중 유기분자들이 분해 및 재결합 과정을 통하여 이루어졌음이 밝혀졌다.

Keywords