Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

Process parameter dependent property studies on PTFE films prepared by RF magnetron sputtering

RF magnetron sputtering에 의한 PTFE 필름의 공정변수에 따른 특성 변화에 관한 연구

  • 송영식 (한국생산기술연구원 뿌리산업연구부문) ;
  • 이효수 (한국생산기술연구원 뿌리산업연구부문) ;
  • 김종렬 (한양대학교 금속재료공학과)
  • Published : 2012.05.31
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Abstract

PTFE(polytetrafluoroethylene) 타겟을 RF 스퍼터링에 의하여 Si 기판과 슬라이드 글라스에 코팅하였다. PTFE의 기초 실험조건으로 타겟 건 파워, 공정시간, 압력 및 바이어스 파워를 변화시켰다. PTFE 필름의 특성은 조건별 두께를 비교하였고, 분광광도계에 의한 투과도를 측정하였다. PTFE의 발수 특성과 스퍼터링 공정 조건을 확인하고자 접촉각 측정을 실시하였다. 타겟 건의 파워 및 시간에 따라 증착속도의 차이가 있었으며, 광학적인 투과도에서도 변화가 있음을 알 수 있었다. 발수특성을 나타내는 PTFE의 스퍼터링에 의한 접촉각 측정을 통해 다양한 조건별 접촉각 특성을 확인하였다.

Keywords