Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

음극 아크 증착으로 코팅된 TiAlN 박막의 물리적 특성 연구

  • 송민아 (포항산업과학연구원 융합소재연구본부) ;
  • 양지훈 (포항산업과학연구원 융합소재연구본부) ;
  • 박혜선 (포항산업과학연구원 융합소재연구본부) ;
  • 정재훈 (포항산업과학연구원 융합소재연구본부) ;
  • 정재인 (포항산업과학연구원 융합소재연구본부)
  • Published : 2012.05.31
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

티타늄-알루미늄(Titanium-Aluminum) 질화물(Nitride)은 고경도 난삭재의 고능률 절삭 분야에 사용되는 공구의 수명 향상을 위한 표면처리 소재로 각광을 받고 있다. 본 연구에서는 아크 소스로 TiAl 타겟을 사용 하였으며, $N_2$ 유량을 변화시키며 코팅을 실시하였다. 그 결과 경도 883~2510 Hv로 나타나는 것을 확인하였다.

Keywords