High Performance Flexible Tactile Sensor by using Microstructure Silicon

마이크로스트럭처실리콘을 이용한 고감도 플렉서블 힘 센서 어레이

  • 김대진 (한국표준과학연구원 기반표준본부 질량 힘 센터) ;
  • 김민석 (한국표준과학연구원 기반표준본부 질량 힘 센터) ;
  • 장진석 (한국표준과학연구원 기반표준본부 질량 힘 센터) ;
  • 강태형 (한국표준과학연구원 기반표준본부 질량 힘 센터) ;
  • 박연규 (한국표준과학연구원 기반표준본부 질량 힘 센터) ;
  • 안종현 (성균관대학교 신소재공학부) ;
  • 장호욱 (성균관대학교 신소재공학부) ;
  • 박민훈 (성균관대학교 신소재공학부)
  • Published : 2012.05.30