Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)
- 2012.05a
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- Pages.811-812
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- 2012
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- 2005-8446(pISSN)
A Study on Accuracy Improvement of Probe Mark at Semiconductor Wafer Test
반도체 Wafer Test 시 Probe Mark 정밀도 향상 방안 연구
- Son, G.B. ;
- Hahm, S.S. ;
- Choi, M.T. ;
- Lee, J.S. ;
- Park, K.W. ;
- Choi, W.S. ;
- Jang, J.W. ;
- Park, S.W. ;
- Lee, G.D.
- 손기복 (삼성전자공과대학교 반도체공학과) ;
- 함상식 (삼성전자반도체 TEST 기술) ;
- 최명택 (삼성전자반도체 TEST 기술) ;
- 이정섭 (삼성전자반도체 TEST 기술) ;
- 박광우 (삼성전자반도체 TEST 기술) ;
- 최우성 (삼성전자반도체 TEST 기술) ;
- 장주원 (삼성전자반도체 TEST 기술) ;
- 박상욱 (삼성전자반도체 TEST 기술) ;
- 이기두 (삼성전자반도체 TEST 기술)
- Published : 2012.05.30