Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2012.05a
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Pages.807-808
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2012
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Simultaneous Measurement of Geometrical Thickness and Refractive index of a Silicon Wafer by using Femtosecond Pulse Laser

펨토초 펄스 레이저를 이용한 실리콘 웨이퍼 두께 및 굴절률의 동시측정

맹새롬 (한국표준과학연구원(KRISS) 길이센터) ;
박정재 (한국표준과학연구원(KRISS) 길이센터) ;
엄태봉 (한국표준과학연구원(KRISS) 길이센터) ;
진종한 (한국표준과학연구원(KRISS) 길이센터)

Published : 2012.05.30

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