한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)
- 한국정밀공학회 2012년도 춘계학술대회 논문집
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- Pages.653-654
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- 2012
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- 2005-8446(pISSN)
AC 플라즈마를 이용한 피니싱 공정용 전기장렌즈의 집속특성에 관한 연구
Study on the focusing characteristics of the electrostatic lens for the finishing process using AC plasma
- 최민식 (단국대학교 응용물리학과) ;
- 장동영 (서울과기대학교 산업정보시스템공학과) ;
- 정보현 (한국전자기계융합기술원) ;
- 박만진 (한국전자기계융합기술원) ;
- 김승재 (한국전자기계융합기술원) ;
- 김동욱 (한국전자기계융합기술원) ;
- 노승정 (단국대학교 응용물리학과)
- Choi, M.S. ;
- Jang, D.Y. ;
- Chung, B.H. ;
- Park, M.J. ;
- Kim, S.J. ;
- Kim, D.U. ;
- Noh, S.J.
- 발행 : 2012.05.30